高光谱性能光学薄膜研究进展

焦宏飞; 汲小川; 张锦龙; 程鑫彬; 王占山

doi:10.37188/OPE.20223021.2591

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高光谱性能光学薄膜研究进展

更新时间：2022-11-22

- 高光谱性能光学薄膜研究进展
- Research progress of advanced high-spectral-performance optical coatings
- 光学精密工程 2022年30卷第21期页码：2591-2607
- 作者机构：
  
  同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所，先进微结构材料教育部重点实验室，上海市数字光学前沿科学研究基地，上海市全光谱高性能光学薄膜器件与应用专业技术服务平台，上海 200092
- 作者简介：
  
  [ "焦宏飞（1982-），男，博士，教授，博士生导师，2004年于洛阳师范学院获得学士学位，2009年于同济大学获得博士学位，主要从事于薄膜光学，微纳光学，激光与物质相互作用方面的研究。E-mail： jiaohf@tongji.edu.cn" ]
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(61975155;62061136008;62275196);上海市科学技术委员会科技计划项目(20JC1414600;21JC1406100);上海市教育委员会“曙光”计划项目(17SG22);上海市级科技重大专项-人工智能基础理论与关键核心技术(2021SHZDZX0100);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目
- DOI：10.37188/OPE.20223021.2591
  中图分类号： TB43;O484
- 收稿日期：2022-07-18，
  
  修回日期：2022-09-28，
  
  纸质出版日期：2022-11-10
- 稿件说明：
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焦宏飞,汲小川,张锦龙等.高光谱性能光学薄膜研究进展[J].光学精密工程,2022,30(21):2591-2607.

JIAO Hongfei,JI Xiaochuan,ZHANG Jinlong,et al.Research progress of advanced high-spectral-performance optical coatings[J].Optics and Precision Engineering,2022,30(21):2591-2607.
焦宏飞,汲小川,张锦龙等.高光谱性能光学薄膜研究进展[J].光学精密工程,2022,30(21):2591-2607. DOI： 10.37188/OPE.20223021.2591.

JIAO Hongfei,JI Xiaochuan,ZHANG Jinlong,et al.Research progress of advanced high-spectral-performance optical coatings[J].Optics and Precision Engineering,2022,30(21):2591-2607. DOI： 10.37188/OPE.20223021.2591.

摘要

高光谱性能光学薄膜是国家重大光学工程、光电子产业的基石。为了提高光学薄膜的光学性能并开发精确制备技术，现有研究主要围绕设计理念、监控技术和薄膜材料等方面展开。目前，薄膜技术已经取得了长足进步，能实现高光谱性能光学薄膜的鲁棒性设计，多种基于高光谱性能光学薄膜的精确制备技术相继被提出。从薄膜设计、精确制备技术以及薄膜材料几方面出发，本文对现代高光谱性能光学薄膜研究进行了回顾和讨论，并对高性能光学薄膜潜在的挑战和进一步研究方向进行了展望。

Abstract

High-spectral-performance optical coatings constitute the cornerstone of major optical engineering and optoelectronics industries. To improve the spectral performance of optical coatings and develop precise fabrication technology， the existing research focuses on the design methodology， monitoring technology， and thin film materials. At present， the high-spectral-performance of optical coatings has led to the realization of robust designs. Additionally， various precise preparation techniques based on high-performance optical coatings have been proposed. The research conducted on advanced high-performance optical coatings is reviewed and discussed from the perspectives of coating design， monitoring technology， and thin film materials. The potential challenges are also summarized and prospective studies on advanced high-spectral-performance optical coatings are outlined.

关键词

Keywords

references

ACCADIA T ， ACERNESE F ， ANTONUCCI F ， et al . Performance of the Virgo interferometer longitudinal control system during the second science Run ［J］. Astroparticle Physics ， 2011 ， 34 （ 7 ）： 521 - 527 .

SOLANKI S K ， DEL TORO INIESTA J C ， WOCH J ， et al . The polarimetric and helioseismic imager for Solar orbiter ： so/PHI ［J］. Proceedings of the International Astronomical Union ， 2014 ， 10 （ S305 ）： 108 - 113 . doi: 10.1017/s1743921315004615 http://dx.doi.org/10.1017/s1743921315004615

SAKHAROV V K . Model of lock-in in a ring laser and a semiconductor laser gyro ［J］. Technical Physics ， 2011 ， 56 （ 8 ）： 1135 - 1141 . doi: 10.1134/s1063784211080202 http://dx.doi.org/10.1134/s1063784211080202

TIKHONRAVOV A ， KOCHIKOV I ， SHARAP OVA S . Broad band optical monitoring in the production of gain flattening filters for telecommunication applications ［J］. Moscow University Physics Bulletin ， 2019 ， 74 （ 2 ）： 160 - 164 . doi: 10.3103/s0027134919020188 http://dx.doi.org/10.3103/s0027134919020188

VENGHAUS H . Wavelength Filters in Fibre Optics ［M］. Springer ， 2006 ， 123 ： 71 - 116 . doi: 10.1007/3-540-31770-8 http://dx.doi.org/10.1007/3-540-31770-8

BORN M ， WOLF E . Principles of Optics ； Electromagnetic Theory of Propagation ， Interference and Diffraction of Light ［M］. 2d rev. ed. New York ： Macmillan ， 1964 .

DOBROWOLSKI J A . Completely automatic synthesis of optical thin film systems ［J］. Applied Optics ， 1965 ， 4 （ 8 ）： 937 - 946 . doi: 10.1364/ao.4.000937 http://dx.doi.org/10.1364/ao.4.000937

DOBROWOLSKI J A . Versatile computer program for absorbing optical thin film systems ［J］. Applied Optics ， 1981 ， 20 （ 1 ）： 74 - 81 . doi: 10.1364/ao.20.000074 http://dx.doi.org/10.1364/ao.20.000074

SOUTHWELL W H . Coating design using very thin high- and low-index layers ［J］. Applied Optics ， 1985 ， 24 （ 4 ）： 457 - 460 . doi: 10.1364/ao.24.000457 http://dx.doi.org/10.1364/ao.24.000457

DOBROWOLSKI J A . Comparison of the Fourier transform and flip-flop thin-film synthesis methods ［J］. Applied Optics ， 1986 ， 25 （ 12 ）： 1966 - 1972 . doi: 10.1364/ao.25.001966 http://dx.doi.org/10.1364/ao.25.001966

TIKHONRAVOV A V ， BAUMEISTER P W ， POPOV K V . Phase properties of multilayers ［J］. Applied Optics ， 1997 ， 36 （ 19 ）： 4382 - 4392 . doi: 10.1364/ao.36.004382 http://dx.doi.org/10.1364/ao.36.004382

TIKHONRAVOV A V ， TRUBETSKOV M K ， DEBELL G W . Optical coating design approaches based on the needle optimization technique ［J］. Applied Optics ， 2007 ， 46 （ 5 ）： 704 - 710 . doi: 10.1364/ao.46.000704 http://dx.doi.org/10.1364/ao.46.000704

SULLIVAN B T ， DOBROWOLSKI J A . Implementation of a numerical needle method for thin-film design ［J］. Applied Optics ， 1996 ， 35 （ 28 ）： 5484 - 5492 . doi: 10.1364/ao.35.005484 http://dx.doi.org/10.1364/ao.35.005484

BINDA P D ， ZOCCHI F E . Genetic algorithm optimization of X-ray multilayer coatings ［C］. Optical Science and Technology ， the SPIE 49th Annual Meeting. Proc SPIE 5536 ， Advances in Computational Methods for X-Ray and Neutron Optics ， Denver， Colorado ， USA . 2004 ， 5536 ： 97 - 108 . doi: 10.1117/12.568104 http://dx.doi.org/10.1117/12.568104

AL-MARZOUG S M ， HODGSON R J . Optimization of multilayer mirrors at 13.4 nm with more than two materials ［J］. Applied Optics ， 2008 ， 47 （ 12 ）： 2155 - 2160 . doi: 10.1364/ao.47.002155 http://dx.doi.org/10.1364/ao.47.002155

WANG Z ， KAISER N ， LEQUIME M ， et al . Non-periodic multilayer coatings in EUV， soft x-ray and x-ray range ［J］. International Society for Optics and Photonics ， 2008 ， 7101 ： 710110 . doi: 10.1117/12.797156 http://dx.doi.org/10.1117/12.797156

WILLEY R R . Practical Design and Production of Optical Thin Films ［M］. New York ： M. Dekker ， 1996 . doi: 10.1117/1.601411 http://dx.doi.org/10.1117/1.601411

OptiLayer . com ［EB/OL］. http：//www.optilayer.com http://www.optilayer.com . doi: 10.1089/glre.2016.201011 http://dx.doi.org/10.1089/glre.2016.201011

BAUMEISTER P W . Optical Coating Technology ［M］. SPIE Press ， 2004 . doi: 10.1117/3.548071 http://dx.doi.org/10.1117/3.548071

BAUMEISTER P . Evaluation of the solutions for two design problems presented at the 1998 optical interference coatings conference ［J］. Applied Optics ， 2000 ， 39 （ 13 ）： 2230 - 2234 . doi: 10.1364/ao.39.002230 http://dx.doi.org/10.1364/ao.39.002230

THELEN A ， TILSCH M ， TIKHONRAVOV A V ， et al . Topical Meeting on Optical interference Coatings （OIC’2001）： design contest results ［J］. Applied Optics ， 2002 ， 41 （ 16 ）： 3022 - 3038 . doi: 10.1364/ao.41.003022 http://dx.doi.org/10.1364/ao.41.003022

TILSCH M ， HENDRIX K ， VERLY P . Optical interference coatings design contest 2004 ［J］. Applied Optics ， 2006 ， 45 （ 7 ）： 1544 - 1554 . doi: 10.1364/ao.45.001544 http://dx.doi.org/10.1364/ao.45.001544

PERVAK V ， TIKHONRAVOV A V ， TRUBETSKOV M K ， et al . 1.5-octave chirped mirror for pulse compression down to sub-3 fs ［J］. Applied Physics B ， 2007 ， 87 （ 1 ）： 5 - 12 . doi: 10.1007/s00340-006-2467-8 http://dx.doi.org/10.1007/s00340-006-2467-8

TIKHONRAVOV A V ， TRUBETSKOV M K . Modern design tools and a new paradigm in optical coating design ［J］. Applied Optics ， 2012 ， 51 （ 30 ）： 7319 - 7332 . doi: 10.1364/ao.51.007319 http://dx.doi.org/10.1364/ao.51.007319

HARPER J M E ， CUOMO J J ， KAUFMAN H R . Technology and applications of broad‐beam ion sources used in sputtering. Part II. Applications ［J］. Journal of Vacuum Science and Technology ， 1982 ， 21 （ 3 ）： 737 - 756 . doi: 10.1116/1.571820 http://dx.doi.org/10.1116/1.571820

KAUFMAN H R . Developments in broad-beam， ion source technology and applications ［J］. Journal Of Vacuum Science and Technology ， 1982 ， 21 （ 3 ）： 1982， 764 - 767 . doi: 10.1116/1.571822 http://dx.doi.org/10.1116/1.571822

HSU J C ， LEE C C . Single- and dual-ion-beam sputter deposition of titanium oxide films ［J］. Applied Optics ， 1998 ， 37 （ 7 ）： 1171 - 1176 . doi: 10.1364/ao.37.001171 http://dx.doi.org/10.1364/ao.37.001171

LEE C C ， HSU J C ， WONG D H . Low loss niobium oxides film deposited by ion beam sputter deposition ［J］. Optical and Quantum Electronics ， 2000 ， 32 （ 3 ）： 327 - 337 . doi: 10.1023/a:1007050204074 http://dx.doi.org/10.1023/a:1007050204074

FRAZIER G A ， GLOSSER R . Phase diagrams of thin films of the palladium hydrogen system using a quartz crystal thickness monitor ［J］. Journal of Physics D： Applied Physics ， 1979 ， 12 （ 10 ）： L113 - L115 . doi: 10.1088/0022-3727/12/10/002 http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/12/10/002

LIU H X ， XIONG S M ， LI L H ， et al . Variation of the deposition rate during ion beam sputter deposition of optical thin films ［J］. Thin Solid Films ， 2005 ， 484 （ 1/2 ）： 170 - 173 . doi: 10.1016/j.tsf.2005.02.041 http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2005.02.041

MACLEOD H A . Monitoring of optical coatings ［J］. Applied Optics ， 1981 ， 20 （ 1 ）： 82 - 89 . doi: 10.1364/ao.20.000082 http://dx.doi.org/10.1364/ao.20.000082

FURMAN S ， TIKHONRAVOV A V . Basics of optics of multilayer systems ［J］. 1996 .

BAUMEISTER P W . Optical Coating Technology ［M］. SPIE Press ， 2004 . doi: 10.1117/3.548071 http://dx.doi.org/10.1117/3.548071

ZHAO F T . Monitoring of periodic multilayers by the level method ［J］. Applied Optics ， 1985 ， 24 （ 20 ）： 3339 - 3342 . doi: 10.1364/ao.24.003339 http://dx.doi.org/10.1364/ao.24.003339

MACLEOD H A . Turning value monitoring of narrow-band all-dielectric thin-film optical filters ［J］. Optica Acta： International Journal of Optics ， 1972 ， 19 （ 1 ）： 1 - 28 . doi: 10.1080/713818494 http://dx.doi.org/10.1080/713818494

TIKHONRAVOV A V ， LAGUTINA A A ， LAGUTIN I S ， et al . Self-compensation of errors in optical coating production with monochromatic monitoring ［J］. Optics Express ， 2021 ， 29 （ 26 ）： 44275 . doi: 10.1364/oe.447211 http://dx.doi.org/10.1364/oe.447211

TIKHONRAVOV A V ， TRUBETSKOV M K ， KOKAREV M A ， et al . Effect of systematic errors in spectral photometric data on the accuracy of determination of optical parameters of dielectric thin films ［J］. Applied Optics ， 2002 ， 41 （ 13 ）： 2555 - 2560 . doi: 10.1364/ao.41.002555 http://dx.doi.org/10.1364/ao.41.002555

TIKHONRAVOV A V ， TRUBETSKOV M K ， AMOTCHKINA T V . Does broadband optical monitoring provide an error self-compensation mechanism？［C］. Optical Interference Coatings 2010， Tucson， Arizona United States ， 6 -11 June 2010， 2010 ： TuC3 .

TIKHONRAVOV A ， KOCHIKOV I ， YAGOLA A . Mathematical investigation of the error self-compensation mechanism in optical coating technology ［J］. Inverse Problems in Science and Engineering ， 2018 ， 26 （ 8 ）： 1214 - 1229 . doi: 10.1080/17415977.2017.1395424 http://dx.doi.org/10.1080/17415977.2017.1395424

TIKHONRAVOV A V ， KOCHIKOV I V ， YAGOLA A G . Investigation of the error self-compensation effect associated with direct broad band monitoring of coating production ［J］. Optics Express ， 2018 ， 26 （ 19 ）： 24964 - 24972 . doi: 10.1364/oe.26.024964 http://dx.doi.org/10.1364/oe.26.024964

TIKHONRAVOV A V ， KOCHIKOV I V ， YAGOLA A G . Error self-compensation mechanism in the optical coating production with direct broad band monitoring ［J］. Optics Express ， 2017 ， 25 （ 22 ）： 27225 - 27233 . doi: 10.1364/oe.25.027225 http://dx.doi.org/10.1364/oe.25.027225

DOBROWOLSKI J A ， DALACU D ， LI L ， et al . Fifty years of optical interference coatings at the national research council of Canada ［J］. Optics and Photonics News ， 2007 ， 18 （ 6 ）： 24 . doi: 10.1364/opn.18.6.000024 http://dx.doi.org/10.1364/opn.18.6.000024

TIKHONRAVOV A V ， TRUBETSKOV M K ， AMOTCHKINA T V ， et al . Application of advanced optimization concepts to the design of high quality optical coatings ［C］. Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering ， 2003 ， 4829 ： 1061 - 1062 . doi: 10.1117/12.531110 http://dx.doi.org/10.1117/12.531110

PERVAK V ， TRUBETSKOV M K ， TIKHONRAVOV A V . Robust synthesis of dispersive mirrors ［C］. SPIE Optical Systems Design. Proc SPIE 8168 ， Advances in Optical Thin Films IV ， Marseille ， France . 2011 ， 8168 ： 95 - 103 . doi: 10.1117/12.896527 http://dx.doi.org/10.1117/12.896527

CAI Q Y ， LUO H H ， ZHENG Y X ， et al . Design of non-polarizing cut-off filters based on dielectric-metal-dielectric stacks ［J］. Optics Express ， 2013 ， 21 （ 16 ）： 19163 - 19172 . doi: 10.1364/oe.21.019163 http://dx.doi.org/10.1364/oe.21.019163

余德明，段微波，李大琪，等 . 偏振和相位调控反射镜的设计与制备［J］. 光学学报， 2020 ， 40 （ 15 ）： 222 - 226 . doi: 10.3788/aos202040.1531001 http://dx.doi.org/10.3788/aos202040.1531001

YU D M ， DUAN W B ， LI D Q ， et al . Design and fabrication of polarization- and phase-modulated mirror ［J］. Acta Optica Sinica ， 2020 ， 40 （ 15 ）： 222 - 226 . （in Chinese） . doi: 10.3788/aos202040.1531001 http://dx.doi.org/10.3788/aos202040.1531001

BAUMEISTER P . Bandpass design-applications to nonnormal incidence ［J］. Applied Optics ， 1992 ， 31 （ 4 ）： 504 - 512 . doi: 10.1364/ao.31.000504 http://dx.doi.org/10.1364/ao.31.000504

THELEN A . Nonpolarizing edge filters ［J］. Journal of the Optical Society of America ， 1981 ， 71 （ 3 ）： 309 - 314 . doi: 10.1364/josa.71.000309 http://dx.doi.org/10.1364/josa.71.000309

JIAO H F ， NIU X S ， ZHANG X M ， et al . Design and fabrication of a superior nonpolarizing long-wavelength pass edge filter applied in laser beam combining technology ［J］. Applied Optics ， 2020 ， 59 （ 5 ）： A162 - A166 . doi: 10.1364/ao.378135 http://dx.doi.org/10.1364/ao.378135

TIKHONRAVOV A V ， TRUBETSKOV M K . Computational manufacturing as a bridge between design and production ［J］. Applied Optics ， 2005 ， 44 （ 32 ）： 6877 - 6884 . doi: 10.1364/ao.44.006877 http://dx.doi.org/10.1364/ao.44.006877

TIKHONRAVOV A V ， TRUBETSKOV M K . Automated design and sensitivity analysis of wavelengh-division multiplexing filters ［J］. Applied Optics ， 2002 ， 41 （ 16 ）： 3176 - 3182 . doi: 10.1364/ao.41.003176 http://dx.doi.org/10.1364/ao.41.003176

AMOTCHKINA T V ， SCHLICHTING S ， EHLERS H ， et al . Computational manufacturing as a tool for the selection of the most manufacturable design ［J］. Applied Optics ， 2012 ， 51 （ 36 ）： 8677 - 8686 . doi: 10.1364/ao.51.008677 http://dx.doi.org/10.1364/ao.51.008677

WILBRANDT S ， STENZEL O ， KAISER N . All-oxide broadband antireflection coatings by plasma ion assisted deposition： design， simulation， manufacturing and re-optimization ［J］. Optics Express ， 2010 ， 18 （ 19 ）： 19732 - 19742 . doi: 10.1364/oe.18.019732 http://dx.doi.org/10.1364/oe.18.019732

BOVARD B G . Rugate filter design： the modified Fourier transform technique ［J］. Applied Optics ， 1990 ， 29 （ 1 ）： 24 - 30 . doi: 10.1364/ao.29.000024 http://dx.doi.org/10.1364/ao.29.000024

SOUTHWELL W H . Using apodization functions to reduce sidelobes in rugate filters ［J］. Applied Optics ， 1989 ， 28 （ 23 ）： 5091 - 5094 . doi: 10.1364/ao.28.005091 http://dx.doi.org/10.1364/ao.28.005091

TIKHONRAVOV A ， TRUBETSKOV M ， AMOCHKINA T ， et al . New optimization algorithm for the synthesis of rugate optical coatings ［C］. Optical Systems Design 2005 . Proc SPIE 5963， Advances in Optical Thin Films II ， Jena ， Germany . 2005， 5963 ： 18 - 26 . doi: 10.1117/12.625072 http://dx.doi.org/10.1117/12.625072

LAPPSCHIES M ， GÖRTZ B ， RISTAU D . Application of optical broadband monitoring to quasi-rugate filters by ion-beam sputtering ［J］. Applied Optics ， 2006 ， 45 （ 7 ）： 1502 - 1506 . doi: 10.1364/ao.45.001502 http://dx.doi.org/10.1364/ao.45.001502

THELEN A . Design of optical minus filters ［J］. Journal of the Optical Society of America ， 1971 ， 61 （ 3 ）： 365 - 369 . doi: 10.1364/josa.61.000365 http://dx.doi.org/10.1364/josa.61.000365

YOUNG L . Multilayer interference filters with narrow stop bands ［J］. Applied Optics ， 1967 ， 6 （ 2 ）： 297 - 315 . doi: 10.1364/ao.6.000297 http://dx.doi.org/10.1364/ao.6.000297

ZHANG J L ， XIE Y J ， CHENG X B ， et al . Thin-film thickness-modulated designs for optical minus filter ［J］. Applied Optics ， 2013 ， 52 （ 23 ）： 5788 - 5793 . doi: 10.1364/ao.52.005788 http://dx.doi.org/10.1364/ao.52.005788

MACLEOD H A . Half wave holes ［C］. Leaks and Other Problems in Proceedings of the 39th Annual Technical conference of the Society of Vacuum Coaters. Society of Vacuum Coaters ， 1996 ： 193 - 198 .

ALVISI M ， DE TOMASI F ， PERRONE M R ， et al . Laser damage dependence on structural and optical properties of ion-assisted HfO 2 thin films ［J］. Thin Solid Films ， 2001 ， 396 （ 1/2 ）： 44 - 52 . doi: 10.1016/s0040-6090(01)01184-1 http://dx.doi.org/10.1016/s0040-6090(01)01184-1

WILBRANDT S ， STENZEL O ， KAISER N . All-optical in situ analysis of PIAD deposition processes ［C］. Advances in Optical Thin Films III ， SPIE Proceedings. Glasgow， Scotland， United Kingdom. SPIE ， 2008 ， 7101 （ 3 ）： 71010D .

JIAO H F ， CHENG X B ， BAO G H ， et al . Study of HfO 2 /SiO 2 dichroic laser mirrors with refractive index inhomogeneity ［J］. Applied Optics ， 2014 ， 53 （ 4 ）： A56 - A61 . doi: 10.1364/ao.53.000a56 http://dx.doi.org/10.1364/ao.53.000a56

TIKHONRAVOV A V ， TRUBETSKOV M K ， AMOTCHKINA T V . Statistical approach to choosing a strategy of monochromatic monitoring of optical coating production ［J］. Applied Optics ， 2006 ， 45 （ 30 ）： 7863 - 7870 . doi: 10.1364/ao.45.007863 http://dx.doi.org/10.1364/ao.45.007863

LEE C C ， WU K ， KUO C C ， et al . Improvement of the optical coating process by cutting layers with sensitive monitor wavelengths ［J］. Optics Express ， 2005 ， 13 （ 13 ）： 4854 - 4861 . doi: 10.1364/opex.13.004854 http://dx.doi.org/10.1364/opex.13.004854

ZHANG J L ， TIKHONRAVOV A V ， LIU Y L ， et al . Design， production and reverse engineering of ultra-steep hot mirrors ［J］. Optics Express ， 2014 ， 22 （ 11 ）： 13448 - 13453 . doi: 10.1364/oe.22.013448 http://dx.doi.org/10.1364/oe.22.013448

STECKELMACHER W . Thin-film optical filters， 3rd edition ［J］. Vacuum ， 2002 ， 66 （ 1 ）： 91 - 92 . doi: 10.1016/s0042-207x(01)00349-9 http://dx.doi.org/10.1016/s0042-207x(01)00349-9

ZOELLER A ， HAGEDORN H ， WEINRICH W ， et al . Testglass changer for direct optical monitoring ［C］. SPIE Optical Systems Design. Proc SPIE 8168 ， Advances in Optical Thin Films IV ， Marseille ， France . 2011 ， 8168 ： 375 - 380 . doi: 10.1117/12.896859 http://dx.doi.org/10.1117/12.896859

TIKHONRAVOV A V ， LAGUTINA A A ， LAGUTIN I S ， et al . Self-compensation of errors in optical coating production with monochromatic monitoring ［J］. Optics Express ， 2021 ， 29 （ 26 ）： 44275 - 44282 . doi: 10.1364/oe.447211 http://dx.doi.org/10.1364/oe.447211

VIDAL B ， FORNIER A ， PELLETIER E . Optical monitoring of nonquarterwave multilayer filters ［J］. Applied Optics ， 1978 ， 17 （ 7 ）： 1038 - 1047 . doi: 10.1364/ao.17.001038 http://dx.doi.org/10.1364/ao.17.001038

TILSCH M ， SCHEUER V ， STAUB J ， et al . Direct optical monitoring instrument with a double detection system for the control of multilayer systems from the visible to the near infrared ［C］. Proc SPIE 2253， Optical Interference Coatings ， 1994 ， 2253 ： 414 - 422 . doi: 10.1117/12.192114 http://dx.doi.org/10.1117/12.192114

RISTAU D ， GUENSTER S . Optimization of optical coatings for the UV/VUV-range ［C］. SPIE Proceedings， Advanced Characterization Techniques for Optics， Semiconductors， and Nanotechnologies . San Diego， California， USA. SPIE ， 2003 ， 5188 ： 80 - 95 . doi: 10.1117/12.507067 http://dx.doi.org/10.1117/12.507067

VIDAL B ， FORNIER A ， PELLETIER E . Wideband optical monitoring of nonquarterwave multilayer filters ［J］. Applied Optics ， 1979 ， 18 （ 22 ）： 3851 - 3856 . doi: 10.1364/ao.18.003851 http://dx.doi.org/10.1364/ao.18.003851

LI L ， YEN Y H . Wideband monitoring and measuring system for optical coatings ［J］. Applied Optics ， 1989 ， 28 （ 14 ）： 2889 - 2894 . doi: 10.1364/ao.28.002889 http://dx.doi.org/10.1364/ao.28.002889

TIKHONRAVOV A V ， TRUBETSKOV M K ， AMOTCHKINA T V . Investigation of the effect of accumulation of thickness errors in optical coating production by broadband optical monitoring ［J］. Applied Optics ， 2006 ， 45 （ 27 ）： 7026 - 7034 . doi: 10.1364/ao.45.007026 http://dx.doi.org/10.1364/ao.45.007026

MACLEOD H A . Thin-Film Optical Filters ［M］. CRC Press ， 2001 . doi: 10.1201/9781420033236 http://dx.doi.org/10.1201/9781420033236

TIKHONRAVOV A V ， TRUBETSKOV M K ， AMOTCHKINA T V . Investigation of the error self-compensation effect associated with broadband optical monitoring ［J］. Applied Optics ， 2011 ， 50 （ 9 ）： C111 - C116 . doi: 10.1364/ao.50.00c111 http://dx.doi.org/10.1364/ao.50.00c111

VIDAL B ， PELLETIER E . Nonquarterwave multilayer filters： optical monitoring with a minicomputer allowing correction of thickness errors ［J］. Applied Optics ， 1979 ， 18 （ 22 ）： 3857 - 3862 . doi: 10.1364/ao.18.003857 http://dx.doi.org/10.1364/ao.18.003857

ZHUPANOV V ， KOZLOV I ， FEDOSEEV V ， et al . Production of Brewster angle thin film polarizers using a ZrO 2 /SiO 2 pair of materials ［J］. Applied Optics ， 2017 ， 56 （ 4 ）： C30 - C34 . doi: 10.1364/ao.56.000c30 http://dx.doi.org/10.1364/ao.56.000c30

TIKHONRAVOV A ， KOCHIKOV I ， SHARA-POVA S ， et al . Optical monitoring of coating production： correlation of errors and errors self-compensation ［C］. SPIE Optical Systems Design. Proc SPIE 11872， Advances in Optical Thin Films VII， Online Only . 2021 ， 11872 ： 96 - 102 . doi: 10.1117/12.2597765 http://dx.doi.org/10.1117/12.2597765

JI X C ， ZHANG J L ， JIAO H F ， et al . Production of ultra-steep dichroic filters with broad band optical monitoring ［J］. Optics Express ， 2022 ， 30 （ 13 ）： 22501 - 22511 . doi: 10.1364/oe.460811 http://dx.doi.org/10.1364/oe.460811

SCHLICHTING S ， WILLEMSEN T ， EHLERS H ， et al . Fourier-transform spectral interferometry for in situ group delay dispersion monitoring of thin film coating processes ［J］. Optics Express ， 2016 ， 24 （ 20 ）： 22516 - 22527 . doi: 10.1364/oe.24.022516 http://dx.doi.org/10.1364/oe.24.022516

PERVAK V ， TIKHONRAVOV A V ， TRUBETSKOV M K ， et al . Band filters： two-material technology versus rugate ［J］. Applied Optics ， 2007 ， 46 （ 8 ）： 1190 - 1193 . doi: 10.1364/ao.46.001190 http://dx.doi.org/10.1364/ao.46.001190

王凯旋，陈刚，刘定权，等 . 绿光波段60 pm超窄带滤光片的研制［J］. 中国光学， 2022 ， 15 （ 1 ）： 119 - 131 . doi: 10.37188/co.2021-0092 http://dx.doi.org/10.37188/co.2021-0092

WANG K X ， CHEN G ， LIU D Q ， et al . Fabrication of an ultra-narrow band-pass filter with 60 pm bandwidth in green light band ［J］. Chinese Optics ， 2022 ， 15 （ 1 ）： 119 - 131 . （in Chinese） . doi: 10.37188/co.2021-0092 http://dx.doi.org/10.37188/co.2021-0092

DONG S Y ， JIAO H F ， BAO G H ， et al . Origin and compensation of deposition errors in a broadband antireflection coating prepared using quartz crystal monitoring ［J］. Thin Solid Films ， 2018 ， 660 ： 54 - 58 . doi: 10.1016/j.tsf.2018.05.044 http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2018.05.044

RISTAU D ， AKHTAR S ， EBERT J . Laser Induced Damage of Dielectric Phase Retardation Mirrors at 1 .064 Microns［M］. Laser Induced Damage in Optical Materials ： 1986.100 Barr Harbor Drive， PO Box C700， West Conshohocken ， PA 19428-2959： ASTM International， 2009： 300-300 - 13 .

KATAGIRI Y ， UKITA H . Ion beam sputtered （SiO（2））（x）（Si（3）N（4））（1-x） antireflection coatings on laser facets produced using O（2）-N（2） discharges ［J］. Applied Optics ， 1990 ， 29 （ 34 ）： 5074 - 5079 . doi: 10.1364/ao.29.005074 http://dx.doi.org/10.1364/ao.29.005074

BECKER H ， TONOVA D ， SUNDERMANN M ， et al . Design and realization of advanced multi-index systems ［J］. Applied Optics ， 2014 ， 53 （ 4 ）： A88 - A95 . doi: 10.1364/ao.53.000a88 http://dx.doi.org/10.1364/ao.53.000a88

MANGOTE B ， GALLAIS L ， COMMANDRÉ M ， et al . Femtosecond laser damage resistance of oxide and mixture oxide optical coatings ［J］. Optics Letters ， 2012 ， 37 （ 9 ）： 1478 - 1480 . doi: 10.1364/ol.37.001478 http://dx.doi.org/10.1364/ol.37.001478

TOKAS R B ， SAHOO N K ， THAKUR S ， et al . A comparative morphological study of electron beam co-deposited binary optical thin films of HfO 2 ： SiO 2 and ZrO 2 ： SiO 2 ［J］. Current Applied Physics ， 2008 ， 8 （ 5 ）： 589 - 602 . doi: 10.1016/j.cap.2007.10.061 http://dx.doi.org/10.1016/j.cap.2007.10.061

JENSEN L O ， MENDE M ， BLASCHKE H ， et al . Investigations on SiO 2 /HfO 2 mixtures for nanosecond and femtosecond pulses ［C］. Laser Damage Symposium XLII ： Annual Symposium on Optical Materials for High Power Lasers. Proc SPIE 7842 ， Laser-Induced Damage in Optical Materials： 2010， Boulder ， Colorado ， USA . 2010， 7842 ： 68 - 77 .

LAPPSCHIES M ， JUPÉ M ， RISTAU D . Extension of ion beam sputtered oxide mixtures into the UV spectral range ［C］. Optical Interference Coatings， OSA Technical Digest ， 2007 ： TuA7 . doi: 10.1364/oic.2007.tua7 http://dx.doi.org/10.1364/oic.2007.tua7

JIAO H F ， NIU X S ， ZHANG J L ， et al . Hf 1- x Si x O 2 nanocomposite coatings prepared by ion-assisted Co-evaporation process for low-loss and high-LIDT optics ［J］. Materials （Basel， Switzerland）， 2021 ， 14 （ 10 ）： 2606 . doi: 10.3390/ma14102606 http://dx.doi.org/10.3390/ma14102606

LIM S ， RYU J H ， WAGER J F ， et al . Rugate filters grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition ［J］. Thin Solid Films ， 1994 ， 245 （ 1/2 ）： 141 - 145 . doi: 10.1016/0040-6090(94)90889-3 http://dx.doi.org/10.1016/0040-6090(94)90889-3

TANG Q ， MATSUDA H ， KIKUCHI K ， et al . Fabrication and characteristics of rugate filters deposited by the TSH reactive sputtering method ［J］. Journal of Vacuum Science & Technology A： Vacuum， Surfaces， and Films ， 1998 ， 16 （ 6 ）： 3384 - 3388 . doi: 10.1116/1.581490 http://dx.doi.org/10.1116/1.581490

CHENG X B ， FAN B ， DOBROWOLSKI J A ， et al . Gradient-index optical filter synthesis with controllable and predictable refractive index profiles ［J］. Optics Express ， 2008 ， 16 （ 4 ）： 2315 - 2321 . doi: 10.1364/oe.16.002315 http://dx.doi.org/10.1364/oe.16.002315

ZHU Y M ， JIAO H F . Rugate filter with multi-channel grown by glancing angle deposition ［J］. Optik ， 2012 ， 123 （ 16 ）： 1501 - 1503 . doi: 10.1016/j.ijleo.2011.09.012 http://dx.doi.org/10.1016/j.ijleo.2011.09.012

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