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40~90 nm波段极紫外多层膜研究进展
现代应用光学 | 更新时间：2024-05-18
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    • 40~90 nm波段极紫外多层膜研究进展

    • Research developments of extreme ultra-violet multilayers for 40-90 nm

    • “科技新闻播报：极紫外多层膜反射镜在多个科学技术领域如光刻、天体物理等领域发挥关键作用。专家深入研究了40~90nm波段多层膜，探索了Mg基、Sc基等材料的最佳反射率和带宽，验证了多层膜的时间稳定性，为多层膜制备提供了技术指导，为相关科学研究与应用提供了有力支撑。”
      ”
    • 光学精密工程   2024年32卷第9期 页码：1293-1306

    • DOI：10.37188/OPE.20243209.1293    

      中图分类号： TN405;TN23

    • 纸质出版日期：2024-05-10，

      收稿日期：2024-04-17，

      修回日期：2024-04-30，

    扫 描 看 全 文

  • 来搏,蒋励,齐润泽等.40~90 nm波段极紫外多层膜研究进展[J].光学精密工程,2024,32(09):1293-1306. DOI： 10.37188/OPE.20243209.1293.

    LAI Bo,JIANG Li,Qi Runze,et al.Research developments of extreme ultra-violet multilayers for 40-90 nm[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(09):1293-1306. DOI： 10.37188/OPE.20243209.1293.

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同济大学 物理科学与工程学院 精密光学工程技术研究所，先进微结构材料教育部重点实验室，上海市数字光学前沿科学研究基地，上海市全光谱高性能光学薄膜器件与 应用专业技术服务平台
上海应用技术学院 理学院
同济大学 精密光学工程技术研究所 物理系
中国科技大学 国家同步辐射实验室
同济大学2. 中国科学技术大学国家同步辐射实验室
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