用于InGaAs单光子探测器的微透镜阵列及表征

张晨阳; 莫德锋; 徐红艳; 马英杰; 顾溢; 李雪; 苏文献

doi:10.37188/OPE.20243211.1667

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用于InGaAs单光子探测器的微透镜阵列及表征

现代应用光学 | 更新时间：2024-07-10

- 用于InGaAs单光子探测器的微透镜阵列及表征
- Design and characterization of microlens arrays for InGaAs single photon detectors
- “最新研究进展显示，通过集成微透镜提高InP基InGaAs单光子红外探测器的光能利用效率，成功设计并验证了磷化镓和硅材料的方形孔径微透镜阵列，为探测器灵敏度提升提供了有效解决方案。”
  
  ”
- 光学精密工程 2024年32卷第11期页码：1667-1675
- 作者机构：
  
  1.上海理工大学能源与动力工程学院，上海 200093
  2.中国科学院上海技术物理研究所红外探测全国重点实验室，上海 200083
- 作者简介：
  
  [ "张晨阳（1999-），男，硕士研究生，2021年于上海理工大学获得学士学位，主要从事探测器封装技术的研究。E-mail：zhangcy0820@163.com" ]
  [ "苏文献（1967-），男，博士，教授，1990年于青岛科技大学获得学士学位，1996年于南京工业大学获得硕士学位，2003年于浙江大学获得博士学位，主要从事化工装备结构与强度分析的研究。E-mail：digestsu@163.com" ]
- 基金信息：
  
  国家重点研发计划资助项目(2023YFB3209604);国家自然科学基金资助项目(62075229;62175250);上海市科技重大项目(2019SZZX01)
- DOI：10.37188/OPE.20243211.1667
  中图分类号： TN364.2
- 纸质出版日期：2024-06-10，
  
  收稿日期：2024-01-08，
  
  修回日期：2024-02-20，
- 稿件说明：
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张晨阳,莫德锋,徐红艳等.用于InGaAs单光子探测器的微透镜阵列及表征[J].光学精密工程,2024,32(11):1667-1675.

ZHANG Chenyang,MO Defeng,XU Hongyan,et al.Design and characterization of microlens arrays for InGaAs single photon detectors[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(11):1667-1675.
张晨阳,莫德锋,徐红艳等.用于InGaAs单光子探测器的微透镜阵列及表征[J].光学精密工程,2024,32(11):1667-1675. DOI： 10.37188/OPE.20243211.1667.

ZHANG Chenyang,MO Defeng,XU Hongyan,et al.Design and characterization of microlens arrays for InGaAs single photon detectors[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(11):1667-1675. DOI： 10.37188/OPE.20243211.1667.

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DOI：10.37188/OPE.20243211.1667