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基于光谱共焦探针的Wolter-I型X射线显微镜芯轴高精度检测
现代应用光学 | 更新时间：2024-08-19
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    • 基于光谱共焦探针的Wolter-I型X射线显微镜芯轴高精度检测

    • High-precision measurement of Wolter-I mandrel for X-ray microscopy by using double confocal probes

    • “在X射线显微镜领域，研究人员成功搭建了基于光谱共焦探针的离线检测装置，实现了Wolter型芯轴表面中低频轮廓的高精度测量，并通过校准测试过程，将误差降至23纳米，验证了检测方法的准确性。”
    • 光学精密工程   2024年32卷第13期 页码：2004-2016

    • DOI：10.37188/OPE.20243213.2004    

      中图分类号： TH74

    • 纸质出版日期：2024-07-10，

      收稿日期：2024-01-22，

      修回日期：2024-03-15，

    扫 描 看 全 文

  • 薛春安,余俊,盛鹏峰等.基于光谱共焦探针的Wolter-I型X射线显微镜芯轴高精度检测[J].光学精密工程,2024,32(13):2004-2016. DOI： 10.37188/OPE.20243213.2004.

    XUE Chunan,YU Jun,SHENG Pengfeng,et al.High-precision measurement of Wolter-I mandrel for X-ray microscopy by using double confocal probes[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(13):2004-2016. DOI： 10.37188/OPE.20243213.2004.

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