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微型阵列束闸设计与实验
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2024-08-19
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    • 微型阵列束闸设计与实验

    • Design and experiment of micro-arrayed beam blanker

    • “在多束电子束曝光系统领域，研究人员设计并制作了3×3微型阵列束闸，成功实现了电子束的快速开/关控制。通过优化设计和MEMS工艺制备，验证了控制器的偏转速度和功能完整性。实验结果表明，阵列束闸控制器偏转速度达到43.5 MHz，电子束偏转距离在25~30 μm，串扰小于3%。该研究为提高多束电子束曝光精度和效率提供了重要基础。”
    • 光学精密工程   2024年32卷第13期 页码：2061-2069

    • DOI：10.37188/OPE.20243213.2061    

      中图分类号： TN16

    • 纸质出版日期：2024-07-10，

      收稿日期：2024-04-09，

      修回日期：2024-06-19，

    扫 描 看 全 文

  • 张利新,孙博彤,刘星云等.微型阵列束闸设计与实验[J].光学精密工程,2024,32(13):2061-2069. DOI： 10.37188/OPE.20243213.2061.

    ZHANG Lixin,SUN Botong,LIU Xingyun,et al.Design and experiment of micro-arrayed beam blanker[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(13):2061-2069. DOI： 10.37188/OPE.20243213.2061.

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相关作者

韩立
刘俊标
殷伯华
刘星云
孙博彤
张利新
舒志文
曾沛

相关机构

中国科学院 电工研究所 微纳加工技术与智能电气设备研究部
季华实验室
湖南大学 机械与运载工程学院 国家高效磨削工程技术研究中心
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学
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