镍基阵列微针的薄胶微电铸制备工艺

王华安; 李晓建; 尹鹏和; 宋佳忻; 张宇; 梁军生

doi:10.37188/OPE.20243216.2492

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镍基阵列微针的薄胶微电铸制备工艺

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2024-09-27

- 镍基阵列微针的薄胶微电铸制备工艺
- Preparation of Ni microneedle array using thin photoresist microelectroforming technique
- “在生物工程领域，研究人员提出了一种新型薄胶微电铸工艺，成功制备出尖端曲率半径为纳米尺度的阵列镍微针，为阵列镍微针的批量化制备奠定了基础。”
- 光学精密工程 2024年32卷第16期页码：2492-2503
- 作者机构：
  
  1.大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室，辽宁大连116024
  2.大连理工大学高性能精密制造全国重点实验室，辽宁大连116024
- 作者简介：
  
  [ "王华安（1999-），男，山东聊城人，硕士研究生，2021年于中国石油大学（华东）获得学士学位，主要从事阵列微针及阵列式电射流打印喷头制备工艺研究。E-mail:421357214@qq.com" ]
  [ "梁军生（1973-），男，广西桂林人，博士，研究员，博士生导师，1995年于合肥工业大学获得学士学位，2003年于桂林电子科技大学获得硕士学位，2007年于大连理工大学获得博士学位，主要从事微纳米制造与器件、微纳机电系统的研究。E-mail：jsliang@dlut.edu.cn" ]
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(51675085);中央高校基本科研业务费项目(DUT22YG214)
- DOI：10.37188/OPE.20243216.2492
  中图分类号： TN205;TN305.7
- 收稿日期：2024-02-05，
  
  修回日期：2024-03-15，
  
  纸质出版日期：2024-08-25
- 稿件说明：
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王华安,李晓建,尹鹏和等.镍基阵列微针的薄胶微电铸制备工艺[J].光学精密工程,2024,32(16):2492-2503.

WANG Huaan,LI Xiaojian,YIN Penghe,et al.Preparation of Ni microneedle array using thin photoresist microelectroforming technique[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(16):2492-2503.
王华安,李晓建,尹鹏和等.镍基阵列微针的薄胶微电铸制备工艺[J].光学精密工程,2024,32(16):2492-2503. DOI： 10.37188/OPE.20243216.2492.

WANG Huaan,LI Xiaojian,YIN Penghe,et al.Preparation of Ni microneedle array using thin photoresist microelectroforming technique[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(16):2492-2503. DOI： 10.37188/OPE.20243216.2492.

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