接触式与白光干涉测头复合测量坐标统一与数据融合

程真英; 徐东见; 张成瑶; 刘云龙; 李瑞君

doi:10.37188/OPE.20243217.2698

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接触式与白光干涉测头复合测量坐标统一与数据融合

精密测量与传感 | 更新时间：2024-10-17

- 接触式与白光干涉测头复合测量坐标统一与数据融合
- Coordinate unification and data fusion for composite measurement with contact and white light interferometric probes
- “在复合测量领域，专家提出了坐标统一方法，设计新型标定器，实现高精度坐标统一与数据融合，提升器件测量能力。”
- 光学精密工程 2024年32卷第17期页码：2698-2707
- 作者机构：
  
  合肥工业大学仪器科学与光电工程学院测量理论与精密仪器安徽省重点实验室，安徽合肥 230009
- 作者简介：
  
  [ "程真英（1980—），女，江苏人，副教授，硕士生导师，主要从事误差理论和不确定评定的研究。E-mail：chengzhenying01@hfut.edu.cn" ]
  [ "李瑞君（1976—），男，内蒙古人，教授，博士生导师，主要从事微纳测量技术与系统、光电检测技术与系统及精密控制技术与系统的研究。E-mail：rj-li@hfut.edu.cn" ]
- 基金信息：
  
  国家重点研发计划资助项目(2019YFB2004902);国家自然科学基金资助项目(52175506)
- DOI：10.37188/OPE.20243217.2698
  中图分类号： TH72
- 收稿日期：2024-05-10，
  
  修回日期：2024-06-09，
  
  纸质出版日期：2024-09-10
- 稿件说明：
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程真英,徐东见,张成瑶等.接触式与白光干涉测头复合测量坐标统一与数据融合[J].光学精密工程,2024,32(17):2698-2707.

CHENG Zhenying,XU Dongjian,ZHANG Chengyao,et al.Coordinate unification and data fusion for composite measurement with contact and white light interferometric probes[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(17):2698-2707.
程真英,徐东见,张成瑶等.接触式与白光干涉测头复合测量坐标统一与数据融合[J].光学精密工程,2024,32(17):2698-2707. DOI： 10.37188/OPE.20243217.2698.

CHENG Zhenying,XU Dongjian,ZHANG Chengyao,et al.Coordinate unification and data fusion for composite measurement with contact and white light interferometric probes[J].Optics and Precision Engineering,2024,32(17):2698-2707. DOI： 10.37188/OPE.20243217.2698.

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Coordinate unification and data fusion for composite measurement with contact and white light interferometric probes

DOI：10.37188/OPE.20243217.2698