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主动补偿式超低干扰力矩气浮转台的设计
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2020-07-07
    • 主动补偿式超低干扰力矩气浮转台的设计

    • Design of supper low disturbance torque air bearing table with active compensation

    • 光学 精密工程   2016年24卷第10期 页码:2432-2441
    • DOI:10.3788/OPE.20162410.2432    

      中图分类号: V448.22;V474
    • 收稿日期:2016-03-25

      录用日期:2016-5-7

      纸质出版日期:2016-10

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  • 刘延芳, 刘兴富, 齐乃明, 等. 主动补偿式超低干扰力矩气浮转台的设计[J]. 光学 精密工程, 2016,24(10):2432-2441. DOI: 10.3788/OPE.20162410.2432.

    Yan-fang LIU, Xing-fu LIU, Nai-ming QI, et al. Design of supper low disturbance torque air bearing table with active compensation[J]. Optics and precision engineering, 2016, 24(10): 2432-2441. DOI: 10.3788/OPE.20162410.2432.

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相关作者

王富国
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相关机构

中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学
华侨大学 信息科学与工程学院
华侨大学 信息科学与工程学院
长春光机所2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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